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PGS-XY 系列

PGS-XY特點:堆疊XY平臺;高速,高加速;高精度,高剛性;無齒槽力

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  • 產(chǎn)品描述
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    設(shè)計特點:

    A. 堆疊XY平臺

    B. 高速,高加速

    C. 高精度,高剛性

    D. 圓晶平臺

    E. 無齒槽力

     

  • 電機(jī)參數(shù) 單位 L U
    電機(jī)型號 - AUM4-P-S6×2 AUM4-P-S5
    持續(xù)推力(自冷) @100ºC① N 662 276
    峰值推力 N 3744 1560
    力常數(shù) ±10% N/Arms 72 60
    反電勢常數(shù) ±10% Vpeak/(m/s) 58.8 49
    相間電阻 @25ºC ±10%② Ω 6.61 5.53
    相間電感 ±20%③ mH 5.75 4.79
    持續(xù)電流(自冷) @100ºC① Arms 4.6 4.6
    峰值電流 Arms 26 26
    最高母線電壓 Vdc 330   330
    電磁周期 mm 60 60 60
     機(jī)械參數(shù)④⑤ 單位 L U
    精度等級 - P UP P UP
    有效行程 mm 300/350/400/450 300/350/400/450
    分辨率 μm SINCOS SINCOS
    重復(fù)定位精度 μm ±0.3 ±0.3
    平面度 μm 5 5
    總直線度 μm 7.5 7.5
    局部直線度 μm/cm ±0.1 ±0.1
    俯仰 arcsec 20 20
    俯仰重復(fù)性 arcsec ±0.5 ±0.5
    橫擺 arcsec 20 20
    橫擺重復(fù)性 arcsec ±0.5 ±0.5
    最小步進(jìn) nm 80 20 80 20
    典型靜態(tài)抖動⑥ nm ±20 ±5 ±20 ±5
    信號周期⑦ μm 20 4 20 4
    注:

    1 測量時環(huán)境溫度為25ºC,取決于散熱環(huán)境。

    2 電阻測量采用直流電流,含0.5米標(biāo)準(zhǔn)線纜。

    3 電感測量頻率1kHz,AUM系列電感浮動范圍較大為±40%是因為三相電感不同,樣冊標(biāo)定數(shù)值為最大值與最小值的平均值,對于每一相電感,浮動范圍為±20%。

    4 測試工況無負(fù)載。測試高度距上軸安裝面200mm。

    5 參數(shù)為單軸 (例如: X 和 Y 軸)。

    6 高性能直流驅(qū)動器。截止頻率 = 1kHz。

    7 更高精度編碼器可定制。

    ★除了適用于標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境的運(yùn)動平臺,雅科貝思也提供適用于超高真空 (10-7 Torr),帶磁屏蔽的高精度運(yùn)動平臺。請聯(lián)系cust-service@akribis-sys.cn。

    相關(guān)參數(shù)規(guī)格如有變動,恕不另行通知。

     

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