PGS-XY 系列
PGS-XY特點:堆疊XY平臺;高速,高加速;高精度,高剛性;無齒槽力
關(guān)鍵詞:
所屬分類:
- 產(chǎn)品描述
- 規(guī)格參數(shù)
- 尺寸圖
- 訂購信息
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設(shè)計特點:
A. 堆疊XY平臺
B. 高速,高加速
C. 高精度,高剛性
D. 圓晶平臺
E. 無齒槽力
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電機(jī)參數(shù) 單位 L U 電機(jī)型號 - AUM4-P-S6×2 AUM4-P-S5 持續(xù)推力(自冷) @100ºC① N 662 276 峰值推力 N 3744 1560 力常數(shù) ±10% N/Arms 72 60 反電勢常數(shù) ±10% Vpeak/(m/s) 58.8 49 相間電阻 @25ºC ±10%② Ω 6.61 5.53 相間電感 ±20%③ mH 5.75 4.79 持續(xù)電流(自冷) @100ºC① Arms 4.6 4.6 峰值電流 Arms 26 26 最高母線電壓 Vdc 330 330 電磁周期 mm 60 60 60 機(jī)械參數(shù)④⑤ 單位 L U 精度等級 - P UP P UP 有效行程 mm 300/350/400/450 300/350/400/450 分辨率 μm SINCOS SINCOS 重復(fù)定位精度 μm ±0.3 ±0.3 平面度 μm 5 5 總直線度 μm 7.5 7.5 局部直線度 μm/cm ±0.1 ±0.1 俯仰 arcsec 20 20 俯仰重復(fù)性 arcsec ±0.5 ±0.5 橫擺 arcsec 20 20 橫擺重復(fù)性 arcsec ±0.5 ±0.5 最小步進(jìn) nm 80 20 80 20 典型靜態(tài)抖動⑥ nm ±20 ±5 ±20 ±5 信號周期⑦ μm 20 4 20 4 注: 1 測量時環(huán)境溫度為25ºC,取決于散熱環(huán)境。
2 電阻測量采用直流電流,含0.5米標(biāo)準(zhǔn)線纜。
3 電感測量頻率1kHz,AUM系列電感浮動范圍較大為±40%是因為三相電感不同,樣冊標(biāo)定數(shù)值為最大值與最小值的平均值,對于每一相電感,浮動范圍為±20%。
4 測試工況無負(fù)載。測試高度距上軸安裝面200mm。
5 參數(shù)為單軸 (例如: X 和 Y 軸)。
6 高性能直流驅(qū)動器。截止頻率 = 1kHz。
7 更高精度編碼器可定制。
★除了適用于標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境的運(yùn)動平臺,雅科貝思也提供適用于超高真空 (10-7 Torr),帶磁屏蔽的高精度運(yùn)動平臺。請聯(lián)系cust-service@akribis-sys.cn。
相關(guān)參數(shù)規(guī)格如有變動,恕不另行通知。
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